半导体衬底材料发展程度

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    半导体衬底材料发展程度
    发布日期:2024-09-25 08:07    点击次数:120

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    半导体主要制造材料及封装材料

    半导体材料行业是半导体产业链中细分范畴最多的产业链要道,证实SEMI的分类与数据,晶圆制造材料包括硅片、光掩膜、光刻胶及扶持材料、工艺化学品、电子特气、抛光液和抛光垫、靶材很是他材料,封装材料包括引线框架、封装基板、陶瓷基板、键合丝、包封材料、芯片粘结材料很是他封装材料,每一大类材料又包括几十种以致上百种具体家具,细分子行业多达上百个。

    图1:半导体主要制造材料及封装材料

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    半导体材料的资本拆分

    证实SEMI的数据,2021年半导体前说念制造材料的资本占比为62.8%,后说念封装材料资本占比为37.2%。进一步对前说念制造材料资本以及后说念封装材料资本进行拆分,其中资本占比最大的为硅片/其他衬底资本(20.72%);其余材料资本占比从大至小排序分别为封装基板(14.88%)、湿电子化学品(8.79%)、光刻胶及配套材料(8.29%)、掩膜版(8.10%)、键合丝(5.58%)、引线框架(5.58%)、封装树脂(4.84%)、CMP材料(4.46%)、陶瓷封装(4.09%)、电子特气(2.51%)、靶材(1.82%)、芯片粘结材料(1.49%)。

    图2:2021年半导体材料资本拆分

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    半导体全工艺经由波及金属要道

    硅片很是他衬底材料是半导体芯片的枢纽底层材料。从芯片的制造经由来看,需要的身手包括分娩晶圆、氧化、光刻、刻蚀、薄膜千里积、互连、测试、封装等。以硅片半导体为例,天然界中硅砂好多,但硅砂中包含的杂质太多,需要进行索取后使用。将索取后得到的高纯硅熔解成液体,再期骗提拉法得到原子枚举整王人的晶锭,再将其切割成一定厚度的薄片,切割后得回的薄片即是未经加工的“原料晶圆”。

    第二步即为氧化过程,其作用是在晶圆名义变成保护膜,保护晶圆不受化学杂质影响、幸免走电电流插足电路、驻扎离子植入过程中的扩散以及留意晶圆在刻蚀时滑脱;第三步为光刻,即使用清明将电路图案“印刷”到晶圆上。

    第四步为刻蚀,在晶圆上完成电路图的光刻后,用该工艺来回除任何过剩的氧化膜且只留住半导体电路图;在刻蚀的同期,也需要进行第五步薄膜千里积/离子注入:通过驾驭千里积薄膜以及刻蚀去撤退器件中过剩的部分,同期添加一些材料将不同的器件分离开来,每个晶体管或存储单位就是在这个过程中构建起来的;在上述过程完成后,需要将器件互连并进行测试,测试无误后智力进行终末的封装,得到终末的半导体芯片。

    由于半导体(集成电路)制造的过程绝顶复杂,波及的金属材料品种包罗万象,本节中咱们以SEMI对半导体材料的分类为线索,逐一分析波及金属的半导体材料,主要包括衬底及外延、掩膜版、电子特气、靶材、其他材料(高K材料及电镀液)、键合丝、引线框架、焊料,下文将分别对这些半导体材料波及的金属作念进一步进展。

    图3:半导体全工艺经由波及金属要道先容

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    半导体衬底材料更新迭代

    从半导体的发展历史看,半导体衬底材料资格了三代的更新迭代,并正在向着第四代材料稳步迈进。其中第一代半导体材料以锗(Ge)和硅(Si)为主,炒股票其中锗当今半导体应用较少,而硅已经当今最主流的半导体衬底材料;第二代半导体材料以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、锑化铟(InSb)和硫化镉(CdS)等I-V族化合物材料为主,由于化合物半导体的宽禁带上风以及下流应用范畴的进一步发展,砷化镓与磷化铟往常的使用量将进步;第三代半导体材料则所以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)和氮化铝(AIN)等为代表的宽禁带(禁带宽度大于2.2eV)半导体材料,其中碳化硅与氮化镓备受良善;而第四代半导体材料主要包括氮化铝(AlN)、金刚石、氧化镓(Ga2O3),它们被称为超宽禁带半导体材料,当今尚处于起步阶段。

    图4:半导体衬底材料更新迭代

    从四代半导体的性能参数对比看,第一代半导体发挥出较低的禁带宽度、介电常数以及击穿电场,其上风在于便宜的资本以及熟悉的工艺,因此愈加适合低压、低频、低温的工况。

    第二代半导体材料具有发光效果高、电子搬动率高、适于在较高温度和其它要求恶劣的环境中职责等特色,同期工艺较第三代半导体材料更为熟悉,主要被用来制作发光电子、高频、高速以及大功率器件,在制作高性能微波、毫米波器件方面是绝佳的材料。

    第三代半导体材料跟着智能时间的莅临而备受喜爱,禁带宽度赫然加多,击穿电压较高,抗放射性强,电子弥散速度、热导率都很高。基于上述脾气第三代半导体材料不仅大致在高压、高频的要求下踏实最先,还可在较高的温度环境下保握邃密的最先情状,况且电能阔绰更少,最先效果更高。

    第四代半导体材料显长远最大的上风即是其更宽的禁带宽度,因此其更合适合用于小尺寸、高功率密度的半导体器件。半导体代际分裂的枢纽见识为“巴利加优值”,它以 IEEE 荣誉勋章得回者B.贾扬特•巴利加(B.Jayant Baliga)的名字定名。本色上,它暗意的是器件的输出在高电压下对输入信号细节的再现程度,优值越高,再现程度越完好。咱们假定第一代半导体硅基材料的优值为 1,第二代半导体材料优值需要达到其10 倍以上,第三代半导体材料优值需要达到其 100 倍以上,第四代半导体材料优值需要达到其 1000 倍以上。

    表一:四代半导体参数对比

    表二:四代半导体材料应用范畴

    图4:各式半导体衬底材料适勤勉率鸿沟及频率鸿沟

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    适勤勉率鸿沟及频率鸿沟

    图5:各式半导体衬底材料适勤勉率鸿沟及频率鸿沟

    当今主要使用的半导体衬底材料所适用的功率鸿沟及频率鸿沟,不错较为明晰地相比各式半导体衬底材料的优残障。天然下图对各式半导体衬底材料 的适用鸿沟进行了分裂,然则从当今的使用情况来看,仍未出现赫然的替代景观,当今硅仍然是半导体器件最迫切的材料。



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